광 검출 소자, 및 그 제조 방법

● 발명자 : 김태환, 전영표, 김유라
● 등록(출원)번호 : 1016464760000 (2016.08.01)
● 특허 유형 : 대한민국 특허 등록

Abstract

챔버 내에 양극을 갖는 기판을 준비하는 단계, 상기 챔버 내에, 제1 유기물 소스를 공급하여, 상기 양극 상에 정공 수송층을 형성하는 단계, 상기 챔버 내에, 제1 페로브스카이트 소스 및 제2 페로브스카이트 소스를 공급하여, 상기 정공 수송층 상에 페로브스카이트 광 반응층을 형성하는 단계, 상기 챔버 내에, 제2 유기물 소스를 공급하여, 상기 페로브스카이트 광 반응층 상에 전자 수송층을 형성하는 단계, 및 상기 전자 수송층 상에 음극을 형성하는 단계를 포함하는 광 검출 소자의 제조 방법이 제공될 수 있다.